Porte-échantillons pour microscope à balayage électronique (MEB)
Le porte-échantillons à relocalisation de particules automatisée pour les microscopes Quanta et XL de FEI
Un nouveau porte-échantillon récemment disponible, permet de relocaliser les particules avec une précision de 50 microns après que les échantillons aient été retirés de la chambre du microscope puis y soient replacés. Les nouveau porte-échantillons aident à la relocalisation des particules après que les échantillons aient été rangés suite à l’analyse initiale de ceux-ci.
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Le porte-échantillon est conçu pour fonctionner avec n’importe quel MEB FEI qui supporte le nouveau système de repositionnement à deux broches (comme les MEB Quanta ainsi que la plupart des MEB XL). Le système utilise un socle à deux broches qui se fixe sur la platine du MEB avec une précision de 20 µm. Le plateau de support spécifique de relocalisation du porte-échantillon est alors inséré sur le socle. La précision absolue de relocalisation n’est seulement qu’une fonction partielle du mécanisme de relocalisation. Des erreurs dues à la fermeture répétée de la porte de la platine du MEB peuvent intervenir. Durant des tests, une précision de 50 µm a été atteinte, ce qui devrait être suffisant pour relocaliser les particules intéressantes exceptés les échantillons de résidus de tir (GSR) contenant une trop grande quantité de particules. Nous espérons une plus grande précision lors des futures optimisations du système |
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Le nouveau porte-échantillons est disponible en configuration 20 (+1) ou 8 (+1) (illustré ci-dessus) positions. La position (+1) est un montage à visser réservé à l’échantillon de calibration du détecteur d’électrons rétrodiffusés (BSD).
Le porte-échantillon à 20 (+1) positions est conçu pour les MEB Quanta, XL30/XL40 avec une platine de 100x100 mm. Les échantillons sont séparés par un écart de 16,6 mm dans un arrangement rectangulaire rendant ainsi le porte-échantillon compatible pour les broches d’échantillons de 12,5 mm (ou autres types exprimés en demi-pouces).
 
Le porte-échantillon 8 (+1) est destiné au Quanta 200 et XL30 ou d’autres MEB disposant d’une platine de 50x50 mm. Il reçoit 8 broches à échantillon (n’importe quel type en demi-pouces) séparées par un écart de 16,6mm dans un arrangement rectangulaire de 3 x 3 échantillons. La position centrale est dévolue à l’échantillon de calibration pour le GSR BSD et dispose d’un montage à visser de 3 mm. L’échantillon de référence reste vissé dans le socle ce qui permet d’éviter la réindexation de sa position après avoir changé le plateau de support des echantillons analysés. Les photos ci-dessous montrent les différentes parties du porte-échantillon.
  
 
Pour chacun des deux types de porte-échantillons, les échantillons sont maintenus par un montage très stable, facile à insérer qui évite de sécuriser les échantillons avec des vis.
 
Photos d’un porte-échantillons à 20 trous de 100 mm. La photo de droite est une vue optique classique tandis que celle de gauche est un montage à partir d’électrons rétrodiffusés prise dans la chambre du MEB en utilisant un module complémentaire du logiciel GSR. Pour de plus amples informations, veuillez contacter Eastern Analytical.
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